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氣相 第3頁
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哪些氣體碳氫可以通過CVI來制備氣相沉積碳？
??CVD(ChemicalVaporDeposition,化學氣相沉積)，指把含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室，在襯底表面發生化學...
發布時間：2021-10-19分類：催化劑及助劑瀏覽：169評論：0
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