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束流
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團簇束流沉積技術概述?
作為納米結構的基本組成單元,團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源:基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇源。以團簇源為中心構...
發布時間:2021-07-06分類:催化劑及助劑瀏覽:63評論:0
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